多晶硅熱場石墨制品

一種石墨加熱生長藍寶石晶體的方法，包括一臺藍寶石晶體生長裝置，其特征在于：采用石墨桶和碳氈材料作為保溫層，氬氣或氦氣作為保護氣體，石墨作為加熱器，通過輻射加熱的方式，使鎢或鎢鉬合金坩堝內的原料熔化后，再經過引晶、縮頸、放肩、等徑生長以及晶體與坩堝脫離過程，完成晶體生長，該方法包括下列步驟：①采用純度為99.99%及以上的氧化鋁作為生長原料；②裝爐結束后，抽真空至真空度高于6×10?2Pa，然后在爐膛內緩慢通入氬或氦氣流動氣氛，生長過程中爐膛壓力控制在10～100torr范圍內，③將坩堝加熱到2050℃以上，降低籽晶桿，使籽晶的底面距離氧化鋁的液面1～3cm的位置，若籽晶底部發(fā)白變圓潤，則需搖起籽晶桿，降溫2～5℃，靜置1～2小時后再次下?lián)u籽晶桿，使籽晶的底面距離氧化鋁的液面1～3cm的位置并進行觀察，當籽晶底端無變化即可繼續(xù)下?lián)u籽晶桿，使籽晶與熔體接觸后再提起，當所述的籽晶變粗，將溫度升高2～5℃，靜置1～2小時后繼續(xù)嘗試，直至籽晶不變，即完成引晶過程；④將籽晶在熔體中靜置30分鐘后，以0.2mm/h的拉速向上提拉籽晶桿，保持溫度不變，當提拉長度達到3～8mm后，即完成縮頸過程；⑤以速率為0.25℃/h降低體系溫度，使液面溫度低于熔點溫度0.5～2℃，拉速保持在0.2mm/h，實現(xiàn)寶石晶體的放肩生長，當晶體每小時質量的增加量達到300g時，即完成放肩過程；⑥進入等徑生長階段，保證晶體的每小時質量的增加量在300～    500g之間，同時拉速保持在0.2mm/h；⑦當顯示生長的晶體的總質量與加入原料質量相等時，再觀察30分鐘，若顯示質量不再發(fā)生變化，則增加拉速至2mm/h，使晶體與坩堝脫離，然后以速率為4℃/h降低體系溫度，直至爐溫為1900℃，再以速率為8℃/h降低體系溫度直至爐溫為1700℃，最后以速率為25℃/h降低體系溫度至室溫。